HQ-RTS-P 系列高精度紅外測(cè)溫儀具有很高的信噪比。能夠以及高精度測(cè)量較低的溫度來控制工藝過程。
HQ-RTS-P系列采用藍(lán)寶石光棒（即“光管”）作為鏡頭收集來自目標(biāo)的紅外輻射，光管鏡頭的優(yōu)點(diǎn)是可提供較低的溫度測(cè)量值，并易于集成到通常用于高級(jí)材料沉積（生長(zhǎng)）和刻蝕（去除）工藝的真空反應(yīng)設(shè)備。